基于柔性透明ITO/PI导电薄膜的光电性能调控研究

作者：陈琳^*; 刘鹤; 贾敏; 张士红; 朱秀慧; 张宇菲

来源：现代化工, 2022, 42(11): 174-178.

DOI：10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2022.11.032

• 柔性导电薄膜
• 沉积温度
• 高温热处理
• 透明性
• 导电性

采用射频磁控溅射法在透明聚酰亚胺(PI)衬底上制备了系列柔性透明导电薄膜，考察了氧化铟锡(ITO)沉积温度与热处理条件对其透光率和导电性的影响。结果表明，有氧气氛下高温溅射会对导电薄膜的颜色和透光率产生不利影响，而真空高温热处理可使薄膜保持无色和高透光率；导电薄膜的方块电阻和电阻率随沉积与热处理温度增大而明显降低；高温热处理使Sn4+含量显著增大，由此导致载流子浓度大幅提高和导电性显著改善。CF-5表现出良好光学透明性、导电性和可弯折性，可见光区透光率>88%,电阻率在9.4×10-4Ω·cm左右。

• 单位
  营口理工学院