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摘要
近年来,基于光学微腔力光耦合量子效应的新型传感器件,由于其极高的传感检测精度,并且还具备微纳芯片化集成制造的潜力,逐渐引起了科学家们的关注。新型的光学材料及高精度微纳制造技术的飞速发展,使光学微腔具备了低损耗、超高Q值和高能量密度的特点,可以极大增强光与物质的有效作用时间与空间,在几厘米甚至更小的有限的空间实现传统几公里甚至几十公里光纤结构所能实现的传感与测量精度。因此,基于该技术的新型传感器件兼具了光学传感器的高精度以及MEMS传感器的低成本、小体积的优势,是新一代传感器件发展的重要方向之一。
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单位中科院文献情报中心
