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摘要
本文采用等离子辅助化学气相沉积技术(PECVD)制备了含氢类金刚石涂层(a-C:H),磁控溅射技术(FAPVD)制备了无氢类金刚石涂层(ta-C)。分别利用拉曼光谱、SEM、纳米压痕仪等进行结构性能表征。采用GM-500 CNC加工中心进行了不同涂层刀具切削性能比较实验。结果表明:类金刚石涂层刀具使用寿命是裸刀的2倍以上。ta-C涂层刀具和a-C:H涂层刀具的前刀面积削瘤形成时间比裸刀延迟1倍以上。ta-C涂层刀具的失效寿命最长,约是裸刀的2倍。
- 单位
本文采用等离子辅助化学气相沉积技术(PECVD)制备了含氢类金刚石涂层(a-C:H),磁控溅射技术(FAPVD)制备了无氢类金刚石涂层(ta-C)。分别利用拉曼光谱、SEM、纳米压痕仪等进行结构性能表征。采用GM-500 CNC加工中心进行了不同涂层刀具切削性能比较实验。结果表明:类金刚石涂层刀具使用寿命是裸刀的2倍以上。ta-C涂层刀具和a-C:H涂层刀具的前刀面积削瘤形成时间比裸刀延迟1倍以上。ta-C涂层刀具的失效寿命最长,约是裸刀的2倍。
