基于复合光波导偏振干涉技术的高灵敏度生化检测仪

作者：祁志美; 刘瑞鹏; 逯丹凤

来源：中国激光, 2011, (01): 195-198.

• 传感器
• 复合光波导芯片
• 偏振干涉
• 生化检测仪 sensors
• composite optical waveguide chip
• polarimetric interference
• biochemical analyzer

利用射频溅射技术在一个单模玻璃光波导的局部表面淀积一层两端呈梯度的高折射率透明氧化物薄膜,形成低损失、高灵敏度平面复合光波导芯片。这种结构能够使得玻璃光波导内沿同一路径传播的横电基模(TE0)与横磁基模(TM0)在梯度薄膜区间产生纵向空间分离,导致TE0模的消逝场相比TM0模显著增强。利用复合光波导芯片,结合棱镜-样品池组合体和集成式选偏光探测器研制出基于偏振干涉测量的OWG-01型生化检测仪。对液体折射率响应的测试结果表明复合光波导芯片的热光效应非常小,而仪器的测量误差主要来自待测液体自身的折射率随温度的变化。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所