脉冲激光沉积制备非晶La0.75Sr0.25MnO3薄膜用于半透明阻变存储器(英文)

作者：张佳旗; 吴小峰; 马新育; 袁龙; 黄科科; 冯守华

来源：无机化学学报, 2018, 34(04): 784-790.

• 阻变存储器
• 锰氧化物
• 脉冲激光沉积
• 钙钛矿

用脉冲激光沉积方法制备非晶La0.75Sr0.25MnO3(a-LSMO)薄膜作为阻变器件(Ag/a-LSMO/ITO)的中间层,所得器件具有良好的非易失性和双极阻变行为。ITO衬底及超薄a-LSMO薄膜具有很高的可见光透过率,从而可制备半透明阻变器件。通过高分辨透射电镜直接观测到了在银电极与ITO电极间的银导电细丝。器件的阻变特性归因于在非晶镧锶锰氧层中的银导电细丝的生长与断裂。

• 单位
  吉林大学; 无机合成与制备化学国家重点实验室