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摘要
本发明公开了一种基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器及其制备方法。该谐振器包括硅衬底、氧化硅保护层、硅腔、铌酸锂压电材料及顶部电极；硅衬底的上表面向内凹陷形成凹槽,氧化硅保护层沉积在凹槽的侧壁和底面；所述硅衬底与铌酸锂压电材料连接,所述铌酸锂压电材料覆盖在凹槽的上方,形成硅腔；所述铌酸锂压电材料上设有通孔,使硅腔与外界相通。空气隙型剪切波谐振器的压电材料由离子注入和键合工艺制备,压电材料下方的空气腔通过牺牲层释放的方法获得。与背硅刻蚀型的剪切波谐振器相比,该方法制备的剪切波谐振器机械强度高,步骤简单,提高了谐振器器件的良率,由于铌酸锂机电耦合系数高。该方法能应用于高频宽带、低损耗滤波器的制造。
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