电子级三氯氢硅中微量氯硅烷杂质检测应用

作者：王春英; 周晓咪; 刘正启

来源：低温与特气, 2022, 40(03): 42-44.

• 电子级三氯氢硅
• 中心切割
• DID

使用AGC Nova CHROM 1000气相色谱仪，搭载放电离子化检测器(DID)，采用中心切割的方法检测电子级三氯氢硅中氯硅烷杂质。