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摘要
传统的数学模型无法将输入功率控制在合理的范围内,为此提出工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究。运用普林斯顿线性方程标定工艺参数,再运用对称算法计算光学元件加工精度误差。完成上述工作后,依据傅立叶变换理论,确定数学模型特性,实现数学模型的构建。由此,完成工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究。最后,应用分析软件COMSOL Multiphysics建立实验平台,分别测试数学模型和传统数学模型是否能够将输入功率控制在合理范围内。所建数学模型实验结果表明,峰值去除率呈线性增长,当输入功率越高,电子被激发的速度越快,分布范围越大。由此可知,所建数学模型可以将输入功率控制在合理的范围内。
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单位重庆人文科技学院
