软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究

作者：李顺; 巩岩; 张巍

来源：光学技术, 2010, (05): 668-671.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.002

• X射线光学
• 掠入射
• 镍磷合金
• 化学镀 X-ray optics
• grazing incidence
• nickel-phosphorus alloys
• electroless plating

在软X射线掠射光学系统筒状反射镜的加工过程中,根据对反射镜内表面镍磷合金镀层的质量要求,采用镍盐还原法对筒状微晶玻璃反射镜的内表面进行了活化,并对在含有30g/LNiSO4.6H2O、30g/LNaH2PO2.H2O、25g/LNa(CH3COO).4H2O、18g/LC6H8O7、10mg/L添加剂的镀液中沉积镍磷合金镀层的工艺方法进行了探索。对得到的镍磷合金镀层的结合力、抗腐蚀能力等进行了测试。结果表明,采用此法镀制的镍磷合金镀层结合力达到4B级,耐蚀性好,能够满足光学精密抛光的要求。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院