一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法

作者：彭继华; 彭瀛龙; 肖扬

来源：2021-12-27, 中国, ZL202111614250.0.

本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域,公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法：将类金刚石涂层样品进行深冷处理,获得强化处理的类金刚石薄膜；所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp～3C体积含量为42％-75％；所述深冷处理的条件：于-100～-196℃保温处理4～8h。本发明先制备sp～3C体积含量为45-75％的类金刚石涂层,然后通过深冷处理诱导涂层中部分sp～2C转变为sp～3C,从而提高涂层中的sp～3C含量和涂层硬度。本发明的方法简单,通过深冷调控手段不仅无损且便于实现规模化量产。

• 单位
  华南理工大学