喷射式微流体滴化机理的研究及应用

作者：张略; 胡泓; 曹勇

来源：纳米技术与精密工程, 2012, 10(01): 78-82.

DOI：10.13494/j.npe.2012.015

• 喷射式滴化
• 多相流
• 晶片标示

喷射式流体滴化技术作为一种高效精确的微小体积流体分配方式,已应用于诸多科技领域.为实现一种高效稳定的晶片标示打点器,根据计算流体力学理论对流体喷射滴化的过程进行数学建模,通过有限体积法对喷嘴内径为0.1 mm时液滴的生成和分离过程进行了数值模拟计算和理论分析.开发设计了由音圈电机驱动的喷射机构进行滴化实验,探讨了将其应用于晶片打点标示的可行性.数值仿真和实验数据都表明,非接触式喷射技术的引入,有效地提高了打点效率,改善了所得墨点的一致性,并减少了拖尾和卫星滴现象.

• 单位
  哈尔滨工业大学深圳研究生院