针对扭摆式MEMS电容加速度计的结构及功能特点,建立系统特征模型,从检测质量、弹性梁、固定端和检测电极等方面详细探讨器件工作原理及动态性能,并通过数学推导得出系统刚度、转动惯量、扭转系数和阻尼系数的解析公式。针对一组特定的结构参数,在气体压强为1标准大气压和100Pa时,对具有不同厚度薄膜气体的系统动态性能进行分析。探讨不同气体压强条件下对应的阻尼状态及其对动态性能的影响。实验最终得到该MEMS器件获得最佳动态响应特性时对应的压强值与气体薄膜厚度值。
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