两种微米金刚石聚晶颗粒薄膜的制备与场发射研究

作者：高金海^*; 张洁; 李成刚; 张兵临

来源：半导体光电, 2022, 43(03): 573-577.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021101201

• 微波等离子体化学气相沉积
• 微米金刚石聚晶薄膜
• 场发射

采用微波等离子体化学气相沉积，在不同的沉积条件下得到两种微米金刚石颗粒薄膜，通过拉曼光谱仪和X射线仪分析了两种薄膜的成分，用扫描电子显微镜分析了两种薄膜的表面形貌，用二级结构的场发射装置研究了薄膜的场发射性能，最终分析并讨论了场发射性能优异的微米金刚石薄膜的特征。

• 单位
  电子工程学院; 郑州师范学院