溶胶-凝胶法制备的用于模式控制型液晶透镜的AZO高电阻薄膜

作者：王伟郅; 于涛^*; 巩伟兴; 肖奇; 温志玉; 张嘉伦; 黄志宇

来源：液晶与显示, 2020, 35(10): 1006-1011.

• 溶胶-凝胶法
• AZO薄膜
• 方块电阻
• 液晶透镜
• 模式控制

采用溶胶-凝胶法制备了掺杂摩尔分数为5%～20%的Al掺杂ZnO(AZO)高电阻薄膜,采用正方形电阻法表征了薄膜的方块电阻,采用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌进行了表征,采用Nano Measurer 1.2软件测量了薄膜晶粒的平均粒径,采用分光光度计表征了薄膜的光谱透过率。当Al掺杂摩尔分数为5%～20%时,方块电阻在2～405 MΩ/之间逐渐增大,晶粒尺寸在24.35～17.53nm之间逐渐减小,可见光透过率可达80%左右。制备了不同Al掺杂摩尔分数的AZO高电阻层的模式控制型液晶透镜并研究了其光学干涉特性,掺杂摩尔分数在10%～15%之间,AZO薄膜可满足液晶透镜对薄膜透明度和方块电阻的要求。

• 单位
  大连海事大学