CCD图像传感器电极间漏电流自动化测试系统设计

作者:郭利; 周建勇; 何达; 何昌海; 尹俊; 唐遵烈; 袁世顺
来源:半导体光电, 2020, 41(02): 287-290.
DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2020.02.028

摘要

CCD图像传感器电极间漏电流是反映CCD器件可靠性的一个关键参数,在CCD图像传感器的生产过程中,对其电极间漏电流测试是一个重要的检测筛选环节。基于一种漏电流自动化测试方法,设计了一种CCD电极间漏电流自动化测试系统。该系统可根据不同种类CCD器件,自定义被测信号名称、测试通道地址和测试判据,通过计算机软件控制自动循环扫描,自动采集漏电电流数据,形成标准测试报表。该系统具有设置灵活、操作方便、自动化测试等优点,可有效提升CCD生产检查筛选过程中的测试效率和测试设备的通用性。