新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析

作者：肖杰; 陆安江^*; 黄子吉

来源：传感器与微系统, 2018, 37(10): 79-81.

DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)10-0079-03

• 全光网络
• 微机电系统
• 电热式
• 光开关

在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性。

• 单位
  贵州大学