压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望

作者：宋国庆; 邹向光; 王万生; 邵志强; 王伟

来源：传感器与微系统, 2020, 39(08): 4-8.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05

• 真空传感器
• 真空计
• 压电谐振
• 弯曲振动
• 音叉

评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前某些关键技术的突破,梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研,对PRVS的发展趋势进行了初步预测。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所