基于激光选区熔化的低畸变F-theta场镜设计

作者：王旭琴; 孙靖; 李鹏; 丘廉芳; 柳玉文; 王飞; 杨洋; 郭立杰

来源：激光与红外, 2019, 49(04): 493-496.

DOI：10.3969/j.issn.1001-5078.2019.04.018

• 激光选区熔化
• F-theta镜
• 低畸变
• 光学设计

设计了一款适用于激光选区熔化的F-theta镜头,该系统由三片透镜组成,且透镜选用红外波段常用的ZnSe材料,镜头总长约89 mm,成型面积为260 mm×260 mm,结构紧凑,制作简单,成本低。聚焦性能好,所有视场下像面的光斑大小均达到衍射极限25μm以下、90%能量集中于50μm的光斑内、相对线性畸变小于0.05%,满足本设计中用于激光选区熔化零件成型的高精度要求。

• 单位
  上海航天设备制造总厂