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摘要
本发明公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器及其制备方法。该谐振器包括衬底、空气隙、电极和压电层的三明治结构及电极引出层；所述衬底与所述电极和压电层的三明治结构连接,衬底与所述电极和压电层的三明治结构的连接面向衬底内凹陷,形成空气隙；所述电极引出层与所述电极和压电层的三明治结构连接。所述电极和压电层的三明治结构包括底电极、压电层、中间电极及顶电极,电极与压电层相间排布形成三明治结构,所述底电极上层叠压电层,所述中间电极被压电层包裹,顶电极层叠在压电层上；所述压电层及中间电极的数量均为n个,n为整数且n的取值≥1。该谐振器可以根据外加偏置电压调整谐振倍频,适用于5G高频通信领域。
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