六氟乙硅烷一个最重要的应用是作为储存二氟化硅的原料，热解即可以提供二氟化硅，二氟化硅作为制备很多含氟硅化合物的中间体，产量稳定、持续提供将对很多含氟硅化合物制备分离，研究其结构性质，物理，化学性质有重要影响，而其中最关键一步是制取二氟化硅。本文综述六氟乙硅烷的来源、制备、检测方法，及其应用，同时对六氟乙硅烷前景进行展望。
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