利用纳米腔结构增强超薄金属膜的光吸收性质

作者：邓晨华; 秦婧; 申佳雨; 王宇涛; 朱瑞涛; 李林

来源：激光杂志, 2023, 44(08): 31-35.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2023.08.031

• 纳米腔
• 光吸收
• 金属薄膜
• 干涉

针对光吸收与物质厚度之间长期存在的相互制约关系，设计了金属/介电层/吸收层的三层膜纳米腔超吸收结构，并采用磁控溅射法制备Al/Al2O3/Pt纳米腔结构。在Al/Al2O3/Pt三层膜结构中，底层Al膜可以作为很好的反射层，中间Al2O3是一种光学无损介电层，可以为纳米腔结构提供额外的相位。由于强干涉效应，改变中间Al2O3层的厚度，可以很容易地调节顶层金属Pt薄膜的光吸收性质。当改变Al2O3层的厚度，从40 nm变化到200 nm时，Pt薄膜的光吸收性质可以从紫外光区连续地调节到整个可见光区，而且光吸收强度可以达到50%以上。

• 单位
  太原师范学院; 材料学院