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摘要
采用气相色谱和核磁共振硅谱对多晶硅行业副产氯代二硅烷的成分进行了分析。研究了氯化氢、有机胺催化剂和反应温度对氯代二硅烷裂解反应的影响。结果表明，氯代二硅烷中主要含有Si2Cl6、Si2HCl5、Si2OCl6、SiCl4和SiHCl3。芳香胺作催化剂时，无裂解试剂氯化氢存在下Si2Cl6和Si2HCl5不发生裂解反应，通入氯化氢后Si2Cl6和Si2HCl5迅速发生裂解反应生成SiHCl3和SiCl4;脂肪胺作催化剂时，无裂解试剂氯化氢存在下Si2HCl5可在30 min内完全裂解，通入氯化氢后Si2Cl6开始进行裂解反应；在有机硅胺存在下，氯代二硅烷中的Si2OCl6不发生裂解反应，Si2HCl5比Si2Cl6更容易发生裂解反应，氯化氢的加入有助于裂解反应的进行；氯代二硅烷裂解反应的催化剂优选N,N-二甲基苯胺，此时氯代二硅烷裂解率和氯代单硅烷收率均随着反应温度的升高而升高。
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