研究了一种基于粘滑驱动原理的旋转式精密压电执行器。运用一种十字交叉型柔性铰链将2个压电陶瓷的直线位移转化为旋转角位移,然后通过与转子之间可调的摩擦接触实现执行器的粘滑运动。在锯齿波电压信号的驱动下,该压电执行器能够输出大行程、高分辨率的角位移。详细介绍了该压电执行器的结构组成与工作原理,并对执行器的运动进行了分析。建立了试验系统对加工的执行器样机的工作性能进行了测试。
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