石英微机电陀螺的频率干扰特性研究

作者：林日乐; 谢佳维; 王伟; 董勇; 蒋昭兴; 冉龙明; 李文蕴; 罗华; 朱振忠

来源：压电与声光, 2020, 42(02): 186-188.

• 石英
• 微机电陀螺
• 频率干扰
• 模式
• 振动

石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态。敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3～21 kHz。敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏移误差,陀螺的零位偏移误差可达0.5 (°)/s。该文分析了敏感芯片模态共振误差机理,提出通过结构错频设计避免外部环境特定频率对敏感芯片的影响,从而抑制了零位偏移误差,零位偏移误差减小到约0.03 (°)/s,提高了陀螺的振动环境适应性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所