基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)

作者：章海军; 赵冬伟; 伊福廷; 王波; 张冬仙

来源：纳米技术与精密工程, 2011, 9(05): 436-439.

DOI：10.13494/j.npe.2011.079

• 光热微驱动器
• 微加工
• 微驱动
• 动态特性
• 激光

提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0～17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微驱动器可由激光束直接控制,具有原理新颖、结构简洁、体积小、易于加工制作等特点,在微纳米技术领域和微光机电系统(MOEMS)中具有广阔的应用前景.

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室; 中国科学院高能物理研究所