多晶硅还原炉产能影响因素分析及提升措施

作者：宋张佐

来源：山东化工, 2019, 48(09): 143-144.

DOI：10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2019.09.051

• 多晶硅
• 还原炉
• 产能
• 措施

三氯氢硅还原是改良西门子法生产多晶硅的关键步骤,还原炉的产能能否达到设计甚至超出设计水平,对企业达产达标,降低成本,产品质量的稳定有很大影响。文章通过分析影响还原炉产能因素并提出了提升措施。

• 单位
  云南能投化工有限责任公司