TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究

作者：薛晨; 王永胜^*; 于盛旺; 黑鸿君; 高洁; 马永; 周兵; 吴艳霞

来源：热加工工艺, 2022, 51(04): 87-99.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.20210884

• TiZrHf合金
• MPCVD
• 碳化物
• 纳米金刚石颗粒
• 摩擦磨损

采用微波等离子化学气相沉积（MPCVD）法，以高纯甲烷和氢气为反应气体，在TiZrHf中熵合金表面碳化-沉积获得碳化物/金刚石涂层。利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损等方法表征了不同甲烷浓度条件下涂层的组织结构、物相组成、硬度及耐磨性能。结果表明，碳化-沉积后涂层的主要成分为金属碳化物和纳米金刚石颗粒，表面硬度明显提升。其中，甲烷浓度为3%时，涂层的表面硬度最高（约660.2 HV），摩擦系数最低，且耐磨性得到极大改善。

• 单位
  太原理工大学