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摘要
为了获得理想的晶体畸变测量结果,针对当前系统存在的问题,提出了基于激光干涉技术的晶体畸变测量系统。首先分析激光干涉技术测量晶体畸变原理;其次为实现可逆计数,设计干涉系统的信号处理流程,对干涉信号做误差补偿,确保光电探测器输出符合要求的信号;最后分组安装激光干涉仪,为提高测量的精准度根据优化的线性方程组,并应用最小二乘算法设计测量轨迹以及系统的角分辨率。仿真实验证明,激光干涉系统能够有效实现晶体畸变测量,其精度高。
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单位成都师范学院
