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摘要
<正>微机械电子技术，是在微电子技术基础上发展出来的，属于多学科交叉的前沿性技术领域，融合硅微机械加工工艺、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术，同时应用现代信息技术，构成微型系统，属于一个新的产业增长点。其中，硅微机械加工工艺包含体硅工艺、表面牺牲层工艺，以美国为代表；LIGA技术包含光刻、电铸、塑铸，以德国为代表。微机械电子技术几乎涉及到自然及工程科学的全部领域，例如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学和能源科学等，在系统集成化和三维加工及非硅加工发展上十分迅速，设计手段逐渐向专用CAD工具方向发展。微机械电子技术
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