耐高温HTCC无源振动传感器设计与仿真研究

作者：贾蔓谷; 熊继军; 李晨^*

来源：传感器与微系统, 2021, 40(09): 26-33.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)09-0026-04

• 无线非接触测量
• 无源振动传感器
• ANSYS Workbench仿真
• 高温共烧陶瓷(HTCC)
• 超高温环境

提出了一种高温共烧陶瓷(HTCC)无源振动传感器,传感器可在超高温环境下工作,通过无线非接触测量原理实现振动参数的在线测量。通过MATLAB软件对振动传感器的结构参数进行仿真,利用ANSYS Workbench仿真软件对敏感结构进行建模、静态分析、模态分析和热力学性能分析。结果表明:传感器敏感结构在0～30 gn内能够正常工作;模态仿真一阶频率为1 991.4 Hz,与谐响应仿真基本一致;在25～1 000℃内,传感器灵敏度随温度升高而增大,1 000℃时的灵敏度为0.114 kHz/gn,传感器为超高温环境下振动参数的稳定测量提供了新思路。

• 单位
  中北大学