现代元器件尺寸测量方法

作者：罗宏伟; 周帅; 马凌志; 项舰; 罗捷

来源：电子与封装, 2020, 20(06): 3-9.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0606

• 尺寸测量
• 电子元器件
• 接触式测量
• 非接触式测量

尺寸测量是评估元器件的结构是否满足设计要求及安装匹配性的重要手段。介绍了现代元器件尺寸测量的主要方法及测量原理,包括接触式三坐标测量、激光三角测量及激光共聚焦测量等新技术。针对现代元器件测量难点,对不同测量方法的适用范围及局限性进行了论述,并总结了现代元器件尺寸测量仍需要解决的一些典型问题。

• 单位
  工业和信息化部电子第五研究所