基于集成氮化硅微腔的光学传感芯片研究

作者：翟珊; 顾昌林; 冯吉军; 卢红亮

来源：计测技术, 2018, 38(01): 9-16.

• 集成光子芯片
• 微环谐振腔
• 氮化硅
• 光学传感器
• 悬空结构

近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点。利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4×103的悬空耦合传感器芯片,并详细研究了集成氮化硅微腔光学传感芯片在折射率测量方面的应用。

• 单位
  专用集成电路与系统国家重点实验室; 复旦大学; 上海理工大学