离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析

作者：陈亮; **; 邓书康; 陈刚; 高立刚; 阚家德; 杨宇

来源：功能材料, 2004, 35(z1): 1379-1382.

DOI：10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.387

• 钛酸锶钡
• 薄膜
• 离子束溅射
• 晶体结构

本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺.

• 单位
  云南大学