针对准分子激光加工PMMA薄板上的微孔形貌进行研究,首先分析了激光脉冲数目对微孔深度的影响,进一步探究了激光脉冲数、激光单脉冲能量和激光脉冲频率等参数对微孔锥度的影响。利用光学显微镜和扫描电镜对打孔效果进行观察,结果表明,在一定范围内,微孔深度随激光脉冲数目线性增加,而微孔锥度随激光脉冲数目线性降低,微孔锥度随激光单脉冲能量线性降低,且影响效果显著;激光脉冲频率对微孔锥度无影响。通过合理选择激光脉冲个数,适当选择较低的单脉冲能量,可以得到较大深度和一定锥度且加工质量良好的锥形微孔。
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