无氧腐蚀清洗腔设计及工艺过程控制

作者：郭立刚; 赵妍; 艾海丰; 郭育澎; 王峥; 王维桐

来源：清洗世界, 2022, 38(08): 19-20.

• 湿法腐蚀
• 无氧腐蚀
• 工艺过程控制

本文针对湿法腐蚀二氧化硅薄膜工艺，设计了一种无氧腐蚀清洗腔。同时介绍了湿法腐蚀二氧化硅原理，并重点阐述了无氧环境下的湿法腐蚀二氧化硅工艺过程控制。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所