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摘要
电子气体中的杂质对半导体元件的质量极大影响。为更好地分析新型电子蚀刻气———六氟丁二烯中的杂质，建立了一种基于电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的分析方法针对气相六氟丁二烯中的金属杂质进行分析方法的改进研究。对仪器工作条件进行了优化，并对取样方法进行了改进，减少了六氟丁二烯易液化带来的干扰。结果显示，所有金属元素线性相关系数(R2)均大于0.99，检测限均小于0.2×10-9，相对标准偏差(RSD)均小于5%，空白加标回收率在80%～120%范围内，多次取样后检测结果基本一致。
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单位中国船舶重工集团公司第七一八研究所
