基于多壁碳纳米管的电阻式温度传感器

作者：赵珠杰; 梁庭^*; 王凯; 雷程

来源：传感器与微系统, 2022, 41(12): 67-70.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)12-0067-04

• 多壁碳纳米管
• 电阻式传感器
• 微机电系统工艺
• 温敏特性

为解决热敏型电阻式温度传感器线性度差、可测温度范围小等问题，介绍了一种以多壁碳纳米管(MWCNT)为温敏材料的电阻型温度传感器。利用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为热敏电阻，在80℃下将MWCNT超声分散溶液涂覆组装在电极上，使用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对MWCNT进行形貌表征，并搭建温度测试平台对传感器进行性能测试。测试结果表明：在40～340℃范围内，传感器的电阻随着温度的上升而下降，传感器的灵敏度约-122.230Ω/℃,线性相关系数为0.995 71;200℃时，传感器响应时间为5 s,恢复时间为4 s。同时，该传感器的迟滞性小，稳定性良好。

• 单位
  中北大学