磁控溅射含铜CrN薄膜的结构和抗菌性能

作者：王应杰; 侯粤峰; 王丽君; 沈步云; 付涛^*

来源：生物医学工程研究, 2021, 40(03): 281-286.

DOI：10.19529/j.cnki.1672-6278.2021.03.10

• 气相沉积薄膜
• 公共设施抗菌
• 铜抗菌剂
• 润湿性
• 液滴干燥动力学
• 抗菌实验方法

本研究采用反应磁控溅射技术制备了不同铜含量的CrNCu抗菌薄膜。台阶轮廓仪、扫描电镜、电子能谱和X射线衍射分析表明,随着铜靶电流的增大,薄膜的沉积速率和Cu含量升高,CrN和Cr含量下降,但粗糙度在0.9～1.4 nm之间。接触角测试表明CrNCu薄膜具有高疏水性和低表面能,其表面水滴的干燥时间长于玻璃试样。平板计数和模拟环境下的喷雾菌液实验表明,CrNCu薄膜对大肠杆菌具有良好的抗菌性能。

• 单位
  广东诚辉医疗科技股份有限公司; 西安交通大学