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摘要
本文提出并实现了一种聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)增敏空芯微瓶谐振腔(PDMS Sensitized Hollow-Core Microcavity Resonator,PS-HCMR)的高灵敏温度传感器。采用提拉镀膜法在高Q值(～7.83×107) PS-HCMR表面均匀涂敷一层PDMS薄膜实现热敏功能化,基于PS-HCMR回音壁模共振谱的热敏感性以及PDMS的高热光效应和热膨胀效应,实现对温度的高灵敏度感知与测量。实验结果表明,当膜层厚度为150μm时,温度灵敏度可达0.127 nm/℃,相比于纯SiO2HCMR提高了32倍。本文提出的PS-HCMR的温度传感器具有灵敏度高、制备简单、结构紧凑等优势,在工业化控制、电力系统、环境监测等领域具有良好的应用前景。
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