等离子体辅助氮化技术因具有氮化速率较快、渗层氮含量高、工艺绿色环保等优点成为研究的焦点。本文综述了活性屏等离子体辅助氮化、低压电弧等离子体辅助氮化和热丝增强等离子辅助氮化的新型等离子氮化技术。同时,发现通过添加稀土元素、增加预处理、后氧化等复合氮化处理可以进一步增强氮化效果。