针对非标准尺寸的晶块和晶圆在倒角过程中存在崩边、崩缺等问题，该文通过设计并排式组合夹具和真空吸附盘组件将产品固定，同时设计45°和弧形刀具，然后采用单一直线和正偏移路径进行加工。实验结果表明，与传统的倒角工艺相比，优化能大幅度地降低倒角过程中产生的崩边、崩缺等问题，不合格率从14.78%降低到3.09%,有利于批量生产。
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