本发明涉及一种基于肖特基二极管的毫米波线性化方法,包括:制备GaN基微波功率器件,测试得到GaN基微波功率器件的输入阻抗;制备肖特基二极管,测试得到肖特基二极管的输出阻抗;将肖特基二极管的输出阻抗与GaN基微波功率器件的输入阻抗共轭匹配;将GaN基微波功率器件与肖特基二极管通过键合互连。本发明实施例,减小了器件空间面积,可以提升线性度补偿并增强可调性,在高频和宽带环境下都可以发挥最佳效应,进一步提高器件集成度和工作速度。