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摘要
为了满足热电阻对涡轮叶片准确测温的要求,需要将叶片表面与热电阻进行高温绝缘。采用电子束蒸发的方法制备了不同层结构的氧化铝薄膜。然后利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了样品微观结构,并测试了其高温绝缘性能。结果表明:随着薄膜层数的增加,其结晶性能逐渐增强,截面结均匀性以及致密性逐渐增强,高温绝缘电阻显著增大。发现三层结构的氧化铝薄膜绝缘层通过600℃退火200min热处理后,在800℃左右温度下的绝缘电阻超过了43kΩ,满足了热电阻在高温环境下的电学绝缘要求,从而保证了涡轮叶片表面的准确测温。
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单位电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学
