连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

作者：诸葛福伟; 高相东; 李效民; 甘小燕

来源：无机材料学报, 2009, (01): 8-12.

• CuSCN
• 连续式离子层吸附与反应
• 微观结构
• 光学性能 CuSCN
• SILAR
• micro structure
• optical properties

采用乙二醇作溶剂,以连续式离子层吸附与反应法(SILAR)实现硫氰酸亚铜(CuSCN)薄膜在ITO、TiO2薄膜以及玻璃衬底上的沉积.通过X射线衍射、扫描电镜和紫外-可见光透过谱等手段表征薄膜结晶性、表面和断面微观形貌以及光学特性.结果表明,衬底以及溶剂性质均对SILAR法薄膜沉积过程存在重要影响.ITO衬底上获得的CuSCN薄膜更为致密,呈结晶态,而TiO2薄膜衬底上的CuSCN薄膜主要由颗粒组成,为非晶态.随沉积次数增加,薄膜表面粗糙度增大,光学透过率逐渐下降.在优化条件下(ITO衬底,20次沉积循环),所得CuSCN薄膜表面致密均匀,可见光透过率约60%.

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院上海硅酸盐研究所; 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室