相移阴影莫尔基于迭代LSM拟合

作者：杜虎兵; 赵宏; 李兵; 李正伟; 郑亮; 冯磊磊

来源：光子学报, 2011, (07): 978-982.

• 算法
• 阴影莫尔
• 相位
• 相移 Algorithm
• Shadow Moiré
• Phase
• Phase-shifting

相移阴影莫尔技术相位高度存在着非线性关系,无法在全场获得均匀相移,因而致使经典的相移算法不能得到精确解.对此,提出了一种基于最小方差迭代的相移阴影莫尔技术,该技术通过垂直光栅面等间距移动光栅来产生相移,但光栅移动距离可不采用固定值,所以相移过程灵活;使用在高度解调过程中确定的逐点相移增量来抽取精确的测量相位,实现了相移阴影莫尔技术中固有的相位高度非线性误差补偿.结果表明,该方法可通过干涉图计算光栅的移动量,具有相移器的自标定特性.

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室