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摘要
近几年微机电系统发展迅猛,微电容传感器的电容信号更加薄弱,其检测技术已经成为了电容式传感器发展和应用的瓶颈。因此,微弱电容传感信号读取电路技术成为了人们关注的焦点。本文主要对微弱电容传感信号的检测方法、基于TDC微弱电容传感信号读取电路技术设计的问题进行研究。
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近几年微机电系统发展迅猛,微电容传感器的电容信号更加薄弱,其检测技术已经成为了电容式传感器发展和应用的瓶颈。因此,微弱电容传感信号读取电路技术成为了人们关注的焦点。本文主要对微弱电容传感信号的检测方法、基于TDC微弱电容传感信号读取电路技术设计的问题进行研究。
