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基于ANSYS的换能系统的模态分析
作者:刘炜
来源:
科学技术与工程
, 2007, (16): 4183-4185.
换能器
ANSYS仿真
模态分析 transducer ANSYS simulation model analysis
摘要
超声换能器是在微电子制造超声键合工艺中的一个重要部件,了解超声换能器的振动模态是非常有必要的。用有限元分析软件ANSYS仿真,得到换能系统的多种振动模态,进而得出其工作频率和主模态。
单位
湖南铁路科技职业技术学院
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