化成前处理对提高铝箔比容的影响

作者:杨富国; 慕金芳; 王玉玲; 程秀梅; 王跃; 张金武; 徐长征
来源:电子元件与材料, 2004, (03): 1-2+6.
DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2004.03.001

摘要

利用化成前引入高介电常数金属氧化物的方法,研究了TiO2涂层对提高铝箔比容的影响。结果表明:腐蚀箔在6%(质量分数)钛酸乙酯的乙醇溶液中,浸泡5 s,然后在450 恒温10 min,在210 V下有机酸化成,阳极氧化膜的结构与性能得到改善,铝箔比容可提高10%,从而可有效提高形成效率。

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