投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析

作者：张文雅; 赵英伟

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(01): 37-40.

• 调平
• 调焦
• 投影光刻机

以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所