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摘要
加速度计是船用惯性导航和动力设备故障诊断的重要器件。用微纳技术制作的加速度计将是未来发展的方向。微机电系统是近年来发展的新型制造技术,其中的V型槽测量是重要的环节之一。光学相干层析成像也是当前光学测试领域研究的热点。本文主要探索一种利用谱域光学相干层析成像技术检测硅微机械系统V型槽的新方法。测量了V型槽的深度、宽度和底宽。从而验证了用谱域光学相干层析成像技术测量硅V形槽是切实可行的。
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加速度计是船用惯性导航和动力设备故障诊断的重要器件。用微纳技术制作的加速度计将是未来发展的方向。微机电系统是近年来发展的新型制造技术,其中的V型槽测量是重要的环节之一。光学相干层析成像也是当前光学测试领域研究的热点。本文主要探索一种利用谱域光学相干层析成像技术检测硅微机械系统V型槽的新方法。测量了V型槽的深度、宽度和底宽。从而验证了用谱域光学相干层析成像技术测量硅V形槽是切实可行的。
